薄膜淀积

可提供蒸发、磁控溅射等金属膜淀积;以及化合物、氧化物、氮化物等多层薄膜淀积的服务
■ 单 质:Au,Ag,Al,Co,Cu,Ta,Ti,W,Ge,Pt, Ru,Ni,Fe
■ 氮化物:TiN,SiN,AlN,TaN,ZrN,HfN,WN,Poly 
■ 氧化物:TiO2, HfO2, SiO2, LTO,SIPOS,ZnO,ZrO2, Al2O3,La2O3,SnO2
■ 其它化合物:GaAs,AlP,InP,GaP,InAs,TEOS,LaHfxOy,SrTiO3,SrTaO6

失效性分析

英创力科技与业内科研院所实验室建立良好的合作关系,可提供半导体器件的失效性分析服务。
■ FIB 聚焦离子束
■ Laser Decap 激光开盖
■ SEM 扫描电镜
■ TEM 透射电镜
■ AFM 原子力显微镜
■ CSAM 超声波扫描
■ X-Ray X射线扫描

三维原子探针检测

英创力科技与国内最先进的三维原子探针中心紧密合作,为客户提供三维原子探针检测服务。
三维原子探针(3DAP-Three Dimensional Probe)是一种纳米尺度范围内定量显微分析法,通过对不同元素的原子逐一扫描分析,绘制出不同元素在样品中的分布图形,从而深入了解材料微小尺度结构的细节,获得样本准确的化学成分和三维形貌。
半导体应用: