LatticeGear AX-420晶圆裂片系统

国际品牌、品质保障!

产品概述

Lattice Ax420是LatticeGear公司配置最高、性能最好的硅片裂片解决方案。 用户受益于AX420超稳定的裂片工作平台和高性能光学系统,能够以非常高的精度和速度裂片。 AX420可用于洁净室中裂片,目前已在全球范围内多个纳米技术实验室中得到广泛应用。

The Ultimate High Accuracy Indent and Cleaving System!

产品描述

Lattice AX420是LatticeGear公司推出的高性能的硅片裂片方案。 LatticeAx 420能在5分钟内完成精度约为10μm的高精度裂片,这对于重视裂片速度和精度,同时还希望切割不同尺寸、厚度、材料的用户是极为理想的选择。具有专利的LatticeAX裂片平台集成了一套完整的视觉系统:包括解析度高达4μm的单目显微镜、彩色CCD镜头、实时影像采集和显示软件,以及X-Y轴向平台。该裂片工作台的特殊设计能让任何用户都可以便捷上手使用,用来测量、对位、微切割、裂片和检查已处理的样品。

优点

  • 高定位精度
  • 样品处理速度快
  • 以较低的成本解决了样品制备工具的瓶颈
  • 采购成本低,无服务费用
  • 满足多种材料和尺寸大小不同样品的裂片
  • 简单易用、机器小巧

特点

  • 具有入门级Lattice AX120产品的所有功能
  • 高达±10μm定位精度
  • 机器小巧,却具工业级作业平台
  • 具有粗调和细调的聚焦套件
  • 配有彩色CCD摄像头的单目、共焦和变焦镜头(.58-7X倍)的显微镜*
  • 可以设置最小步进为5μm的定点裂片定位控制
  • 配备有抛光金刚石压头(Indenter)
  • 裂片全程不足5分钟的超快工艺
  • 配有裂片校准的刻度盘

*备注:视觉系统不包括电脑和显示器

主要应用

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产品聚焦

产自欧美,品质可靠!

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