氮化镓衬底|氮化镓晶片|Gallium Nitride Substrates|GaN Wafers

国际品牌、品质保障!

以硅(Si)、砷化镓(GaAs)为代表的第一代和第二代半导体材料的高速发展,推动了微电子、光电子技术的迅猛发展。然而受材料性能所限,这些半导体材料制成的器件大都只能在200℃以下的环境中工作,不能满足现代电子技术对高温、高频、高压以及抗辐射器件的要求。

氮化镓(GaN)跟碳化硅(SiC)材料一样,同属于宽禁带宽度的第三代半导体材料,具有禁带宽度大、热导率高、电子饱和迁移速率高、高击穿电场突出特性。GaN器件在LED节能照明、激光投影显示、新能源汽车、智能电网、5G通信等高频、高速、大功率需求领域有广泛的应用前景。

英创力科技可提供2~4寸氮化镓(GaN)单晶衬底片或外延片,以及提供蓝宝石/硅基2~8寸的GaN外延片。

第三代半导体材料主要包括SiC、GaN、金刚石等,因其禁带宽度(Eg)大于或等于2.3电子伏特(eV),又被称为宽禁带半导体材料。和第一代、第二代半导体材料相比,第三代半导体材料具有高热导率、高击穿电场、高饱和电子迁移速率和高键合能等优点,可以满足现代电子技术对高温、高功率、高压、高频以及抗辐射等恶劣条件的新要求。在国防、航空、航天、石油勘探、光存储等领域有着重要应用前景,在宽带通讯、太阳能、汽车制造、半导体照明、智能电网等众多战略行业可以降低50%以上的能量损失,最高可以使装备体积减小75%以上,对人类科技的发展具有里程碑的意义。

合作厂商
Work With Global Leading manufacturers

规格表

Item
项目
GaN-FS-C-U-C50 GaN-FS-C-N-C50 GaN-FS-C-SI-C50
Diameter
晶圆直径
50.8 ± 1 mm
Thickness厚度 350 ± 25 μm
Orientation
晶向
C plane (0001) off angle toward M-axis 0.35 ± 0.15°
Prime Flat
主定位边
(1-100) 0 ± 0.5°, 16 ± 1 mm
Secondary Flat
次定位边
(11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 mm
Conductivity
导电性
N-type N-type Semi-Insulating
Resistivity (300K)
电阻率
< 0.1 Ω·cm < 0.05 Ω·cm > 106 Ω·cm
TTV
平整度
≤ 15 μm
BOW
弯曲度
≤ 20 μm
Ga Face Surface Roughness
Ga面粗糙度
< 0.2 nm (polished);
or < 0.3 nm (polished and surface treatment for epitaxy)
N Face Surface Roughness
N面粗糙度
0.5 ~1.5 μm
option: 1~3 nm (fine ground); < 0.2 nm (polished)
Dislocation Density
位错密度
From 1 x 105 to 3 x 106 cm-2 (calculated by CL)*
Macro Defect Density
缺陷密度
< 2 cm-2
Useable Area
有效面积
> 90% (edge and macro defects exclusion)

可根据客户要求,定制不同结构的硅基、蓝宝石基、SiC基的GaN外延片。

我们的优势

  • 广泛的国际化货源渠道
  • 灵活的订货数量
  • 深入的增值服务:减薄、外延、划片

应用领域

  • 节能照明
  • 新能源
  • 智能电网
  • 新能源汽车
  • 射频器件
  • 5G通信
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